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1200℃三溫區(qū)管式爐(配381mm石英管,鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm)
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15英寸、排膠爐、大口徑、電動開啟
型號:
OTF-1100X-15-III
產(chǎn)品概述:
OTF-1100X-15-III是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐,采用15英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭(安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表)。爐體設(shè)計為電動開啟式。三個溫區(qū)獨立控制,可設(shè)置50段升降溫曲線,帶有超溫和短偶保護,控溫精度為+/-0.5 ºC。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料在真空或氣氛保護環(huán)境下的熱處理。
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型號

OTF-1100X-15-III

爐體結(jié)構(gòu)

? 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)


? 采用氧化鋁纖維作為爐膛材料


? 加熱元件:SiC棒


? 設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵,以保證爐膛內(nèi)部溫度均勻性(爐體加熱前,管堵必須塞入到爐管內(nèi)部)


? 此管式爐可作為退火或擴散管式爐(6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載)


? 電動開啟式設(shè)計,使得用戶操作更加簡便


結(jié)構(gòu)圖氧化鋁管堵晶片裝載電動開啟


加熱區(qū)

? 總加熱區(qū)長度1000mm


? 三個加熱區(qū): 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)


工作溫度

? 最高工作溫度1100℃


? 最高加熱速率:10℃/min


? 加熱元件:SiC棒(36根)


溫控系統(tǒng)

控溫精度為+/-0.5℃

爐管

? 15英寸高純石英爐管:尺寸:400mm OD. x 388mm ID.  x 1860mm L


? 注意:石英爐管易碎,操作需謹(jǐn)慎

 


真空密封&法蘭

? 一對不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈?zhǔn)剑?個硅膠密封圈,可使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)到10^-3torr(采用機械泵抽真空)


? 左端法蘭:安裝有不銹鋼針閥,Φ6.35的進氣口


? 右端法蘭:KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口(用于熱偶插入到爐管內(nèi),測量爐管內(nèi)溫度和進行溫度校準(zhǔn))


可選

? 此管式爐需定期校準(zhǔn),以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性,我們可提供簡單的校準(zhǔn)工具


             ·1根1200mm的K型鎧裝熱偶


             ·1個Omega溫度校準(zhǔn)儀表


             ·此型號管式爐只可選用機械泵,且最低真空度只能夠抽到-0.05MPa,否則可能造成爐管損傷


             ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架


? 可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用,實現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備

           


電壓

? 三相380V,50/60 Hz

額定功率

? 20KW

產(chǎn)品尺寸

? 2300L x 1500W x 1400 H mm

 


凈重

? 300kg

質(zhì)保期

? 一年質(zhì)保期,終身維護(不包含爐管,加熱元件和密封圈)

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認(rèn)證

? 此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證

 證書編號:M.2021.206.C67998

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