名稱 | 1100℃電動開啟式三溫區(qū)管式爐(8.5、11英寸石英爐管) |
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設(shè)備型號 |
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高純石英管尺寸 |
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加熱區(qū) | 1000mm |
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電源 |
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爐體結(jié)構(gòu) | ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ·設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵,設(shè)備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性)(圖一、二) ·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) ·該爐可作為退火或擴散爐,最大可用于8”晶片放在對應(yīng)石英舟中(圖三) ·電動開啟式設(shè)計,使得用戶操作更加簡便。(圖四) |
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基本參數(shù) | 熱偶:K型熱偶 建議升溫速率:≤10℃/min 溫度:1000℃ (1100℃<1h) 電源:AC380V |
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加熱元件 | SiC棒(36根) |
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爐管 | ·8.5英寸或11英寸高純石英爐管 ·注意:石英爐管易碎,操作需謹(jǐn)慎 ·為了獲得更高的工作溫度,可選用FeCrAl合金管,溫度可達1200℃ |
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密封法蘭 | ·一對不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈?zhǔn)剑?個硅膠密封圈,可使?fàn)t管內(nèi)真空度達到10^-3torr(采用機械泵抽真空) ·左端法蘭:安裝有不銹鋼針閥,Φ6.35的進氣口 ·右端法蘭:KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口(用于熱偶插入到爐管內(nèi),測量爐管內(nèi)溫度和進行溫度校準(zhǔn)) |
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溫控系統(tǒng) | ·控溫精度:±0.5℃ |
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溫度校準(zhǔn)(可選) | ·定期對管式爐進行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準(zhǔn)套件包括 ·1根1200mm的K型鎧裝熱偶 ·一Omega溫度校準(zhǔn)器 ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架 ·你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr |
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外形尺寸 | 2210 L x 770W x 1190 H mm |
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凈重 | 約500 kg |
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質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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真空系統(tǒng) | ·多種真空系統(tǒng)可選 ·可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
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質(zhì)量認(rèn)證 | ·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證 證書編號:M.2021.206.C67998 若客戶出認(rèn)證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
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可選 | ·可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用,實現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備 |
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使用注意事項 | ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) ·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ·石英管的長時間使用溫度<1100℃ ·對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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應(yīng)用提示 | ·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度,在使用前需要校準(zhǔn)溫度,請點擊這里了解如何使用 |
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