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1200℃雙坩堝移動(dòng)型管式爐
- 關(guān)鍵字：
- 雙溫區(qū)、開(kāi)啟式、同時(shí)移動(dòng)
- 型號(hào)：
- OTF-1200X-Ⅱ-S2
- 產(chǎn)品概述：
- OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款雙溫區(qū)帶有升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)的共蒸發(fā)多層沉積管式爐，通過(guò)升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)可裝載4個(gè)不同材料的蒸發(fā)坩堝舟，并且可一次同時(shí)送入兩個(gè)蒸發(fā)坩堝源進(jìn)入管式爐中進(jìn)行共蒸發(fā)或反應(yīng)蒸發(fā)。雙溫區(qū)管式爐可以實(shí)現(xiàn)快速加熱，并且通過(guò)對(duì)各個(gè)溫區(qū)設(shè)置不同的加熱溫度可以創(chuàng)建不同的溫度梯度從而實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)沉積。雙通道進(jìn)料系統(tǒng)可以在程序控制下將2個(gè)裝載不同蒸發(fā)料的坩堝一同推進(jìn)拉出，實(shí)現(xiàn)共蒸發(fā)或者反應(yīng)蒸發(fā)，適用于多層二維晶體材料的制備。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 管式爐
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雙溫區(qū)管式爐：兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)對(duì)每個(gè)溫區(qū)進(jìn)行獨(dú)立控溫 電壓：220V AC 50/60Hz 功率：3KW 加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：300mm 溫度曲線圖(兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置在800℃時(shí)所測(cè)，僅供參考）（可點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
爐管材料：高純石英管 標(biāo)配爐管尺寸：Φ100（外）×Φ94（內(nèi)）×640（長(zhǎng)） 最高工作溫度：1200℃（＜1h） 連續(xù)工作溫度：1100℃ 控溫精度：±1℃ 推薦升溫速率：10℃/min
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| 坩堝推送機(jī)構(gòu)（升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)）
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一根鎧裝熱電偶通過(guò)左端法蘭通入爐管內(nèi)部，并與坩堝相連接，實(shí)現(xiàn)溫度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)（如圖1） 升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)放置在一中空的真空腔體中，上方采用不銹鋼真空法蘭進(jìn)行密封，兩端同樣采用不銹鋼真空法蘭與坩堝推進(jìn)裝置及管式爐進(jìn)行連接，保證進(jìn)料在真空狀態(tài)或者氣氛保護(hù)狀態(tài)下進(jìn)行運(yùn)作（圖2） 進(jìn)料系統(tǒng)真空腔體右端與管式爐連接法蘭處安裝有2個(gè)獨(dú)立小石英管（圖3） 在升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)中最多可放入4個(gè)坩堝（圖4），利用推送系統(tǒng)可交替將4個(gè)不同蒸發(fā)源單個(gè)依次送入石英管中，也可將放入不同材料的2個(gè)坩堝蒸發(fā)源一同送入，分別精確的推入兩個(gè)獨(dú)立的小石英管中（圖5），找到所需的蒸發(fā)溫度處進(jìn)行共蒸發(fā)或者反應(yīng)蒸發(fā)，保證實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性以及穩(wěn)定性（圖6）
   
圖1 圖2 圖3 圖4
 
圖5 圖6
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| 坩堝推送控制系統(tǒng)
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| 真空表
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機(jī)械壓力表+數(shù)顯壓力表 |
| 真空泵
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| 混氣系統(tǒng)
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此套設(shè)備中配有一2路混氣系統(tǒng) 最大輸出功率：18W 工作溫度：5-45℃ 精度：±1%FS 質(zhì)量流量計(jì)量程：1:0-100sccm 2:1-199sccm 可根據(jù)客戶(hù)要求選購(gòu)1-5路供氣系統(tǒng)
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| 水冷系統(tǒng)
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| 尺寸
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| 國(guó)家專(zhuān)利
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| 質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，終生維護(hù) |
| 質(zhì)量認(rèn)證
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| 使用注意事項(xiàng)
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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| 應(yīng)用舉例
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此款管式爐具有多種用途： 熱蒸發(fā)：將蒸發(fā)料放入坩堝中，通過(guò)移動(dòng)坩堝來(lái)精確找到所需蒸發(fā)溫度 HPCVD：通入反應(yīng)氣體實(shí)現(xiàn)反應(yīng)蒸發(fā)沉積 共蒸發(fā)沉積或反應(yīng)蒸發(fā)沉積：利用獨(dú)特的雙通道進(jìn)料裝置可以實(shí)現(xiàn)兩蒸發(fā)源的同時(shí)送入，實(shí)現(xiàn)共蒸發(fā)沉積或反應(yīng)蒸發(fā)沉積 多層二維晶體：此套設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)多層二維晶體的制備（硒化物硫化物等），操作方便簡(jiǎn)單，實(shí)驗(yàn)更具精確性、重復(fù)性。
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| 國(guó)家專(zhuān)利
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專(zhuān)利名稱(chēng)：多樣品通道自動(dòng)切換進(jìn)樣系統(tǒng)
專(zhuān)利號(hào)：ZL 2016 1 0396131.5
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