名稱 | 1100℃雙溫區(qū)大口徑管式爐(6,8.5,11英寸管徑)GSL-1100X-XX-S2 |
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設(shè)備型號 |
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高純石英管尺寸 |
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石英舟(可選)最大可兼容8”直徑基片 |
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基本參數(shù) | 熱偶:K型熱偶 建議升溫速率:≤10℃/min 溫度:1000℃ (1100℃<1h) 電源:AC220,50Hz 最大8KW |
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加熱區(qū) | 規(guī)格1:加熱區(qū)長度:600mm 雙溫區(qū):300mm+300mm 規(guī)格2:加熱區(qū)長度:900mm 雙溫區(qū):450mm+450mm |
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爐體結(jié)構(gòu) | ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ·設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵,設(shè)備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性)(點擊圖片查看詳細(xì)資料) ·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) ·該爐可作為退火或擴散爐,最大可用于8”晶片放在對應(yīng)石英舟中 |
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加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) |
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密封法蘭 | ·采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr(參考值,詳情請點擊) ·可選購一套溫度測試裝置(鎧裝熱偶、補償導(dǎo)線和溫度儀表),用于測試爐管內(nèi)部的溫度 ·左側(cè)水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭 ·右側(cè)水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,你需要一個kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭) |
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溫控系統(tǒng) | ·包含一款YD858P型溫度控制器 ·PID自動控溫系統(tǒng) ·智能化50段可編程控制 ·控溫精度:±1℃ ·兩個溫區(qū)分別有兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制 ·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ·通過MET認(rèn)證 ·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) |
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溫度校準(zhǔn)(可選) | ·定期對管式爐進行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準(zhǔn)套件包括 ·48”L(1/4”O(jiān)D)K型熱電偶校準(zhǔn) ·一Omega溫度校準(zhǔn)器 ·熱電偶補償線 ·你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr
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外形尺寸 | 規(guī)格1:1880 L x 700W x 930 H mm 規(guī)格2:2180 L x 700W x 930 H mm |
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凈重 | 約200 kg |
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質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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真空系統(tǒng) | ·多種真空系統(tǒng)可選 ·可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
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質(zhì)量認(rèn)證 | 若客戶出認(rèn)證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
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使用注意事項 | ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) ·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ·石英管的長時間使用溫度<1100℃ ·對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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應(yīng)用提示 | ·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度,在使用前需要校準(zhǔn)溫度,請點擊這里了解如何使用 |
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