Idea-PECVD(OTF-1200X-50S-PE-SL、OTF-1200X-50-4CLV-PE)輝光影響因素探索
發(fā)布時間:2020-12-17
實驗設(shè)備及參數(shù):氬氣氛圍,OTF-1200X-50S-PE-SL、OTF-1200X-50-4CLV-PE(管徑80,PE最大功率500W)、VRD-8、VRD-16、VRD-24、VRD-48,質(zhì)子流量計、OTF-1200X-50S-PE-SL 進氣速率0-300sccm,OTF-1200X-50-4CLV-PE進氣速率0-1000sccm。
實驗?zāi)康模?/span>通過控制進氣量,測試不同型號泵的抽速對PECVD起輝效果的影響。通過控制進氣量,測試管徑、最大功率對PECVD起輝效果影響
實驗結(jié)論:
(1)對于使用同一臺機械泵,進氣端靠近線圈比進氣端遠離線圈時所需起輝功率更??;
(2)在可起輝的真空范圍內(nèi),起輝功率隨著真空度升高而降低,但總體相差不大;
(3)相對于OTF-1200X-50S-PE-SL設(shè)備,隨著進氣量增大,系統(tǒng)真空度逐漸降低,需要更大抽速的機械泵維持系統(tǒng)的高真空度;
使用VRD-8和VRD-16,進氣端靠近線圈時,進氣量≦20sccm,輝光可充滿全管,而進氣端遠離線圈時,需要進氣量≦3sccm;
使用VRD-24進氣端靠近線圈時,進氣量≦50sccm,輝光可充滿全管,而進氣端遠離線圈時,需要進氣量≦5sccm;
使用VRD-48進氣端靠近線圈時,進氣量≦100sccm,輝光可充滿全管,而進氣端遠離線圈時,需要進氣量≦20sccm;
(4)對比OTF-1200X-50S-PE-SL與OTF-1200X-50-4CLV-PE:
相同進氣速率下(尤其是高進氣速率時),管徑越大越易起輝;
相同進氣速率下(尤其是高進氣速率時),起輝功率越大輝光范圍越長;
(5)在PECVD使用期間,由于真空泵抽速影響會對浮子流量計產(chǎn)生影響,因此在進行邊進氣邊抽真空的實驗中要使用質(zhì)子流量計控制進氣量;
(6)進氣量保持不變,調(diào)節(jié)進氣針閥對系統(tǒng)真空度的影響:初期朝關(guān)閉方向旋緊針閥對系統(tǒng)真空度幾乎無任何影響,在針閥即將關(guān)閉的最后一至半圈,旋緊針閥,系統(tǒng)真空度急劇增大。
實驗步驟:
(1)按圖示連接設(shè)備
進氣端遠離線圈圖示 進氣端靠近線圈圖示
(2)使用質(zhì)子流量計控制進氣量為300sccm,使用VRD-8最大抽速對整個系統(tǒng)進行抽真空,待系統(tǒng)穩(wěn)定后記下泵口出小藍表真空度,打開射頻電源,測試系統(tǒng)可起輝的最小功率,待起輝后,將功率增大至300W,觀察輝光變化并記錄;
(3)降低進氣量(200、100、50、20、10、5、3、1、0),重復(fù)上述實驗;
(4)實驗結(jié)束后,調(diào)換進氣口與泵抽氣口位置,重復(fù)步驟(1)和(2)。
(5)更換機械泵(VRD-16、VRD-24、VRD-48),重復(fù)步驟(1)、(2)和(3)。
(6)使用VRD-48,更換OTF-1200X-50-4CLV-PE(80管徑)設(shè)備,進氣量(1000,,800、500、300、200、100、50、20、10、5、3、1、0)重復(fù)上述實驗。
實驗結(jié)果:
圖 1.泵的抽速對輝光長度的影響(進氣端靠近線圈) 圖 2.泵的抽速對輝光長度的影響(進氣端原理線圈)
圖 3.真空度(Torr)與流量的關(guān)系 圖 4.管徑對輝光長度影響
特別聲明:
1. 以上所有實驗僅為初步探究,僅供參考。由于我們水平有限,錯誤疏漏之處歡迎指出,我們非常期待您的建議。
2. 歡迎您提出其他實驗思路,我們來驗證。
3. 以上實驗案例及數(shù)據(jù)只針對科晶設(shè)備,不具有普遍性。
4. 因為涉及保密問題,以上數(shù)據(jù)僅為部分數(shù)據(jù),歡迎老師與我們聯(lián)系,我們非常期待和您共同探討設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)。
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