實(shí)驗(yàn)室小課堂-如何為CVD設(shè)備選型
發(fā)布時(shí)間:2020-07-17
1、如何選擇管式爐?(請(qǐng)點(diǎn)擊此鏈接)
供氣系統(tǒng)即混氣裝置,它可以實(shí)現(xiàn)2種或者2種以上的氣體或者蒸汽按照一定的比例來(lái)混合,然后通入高溫爐中
本公司根據(jù)流量計(jì)的不同分為2類
浮子流量計(jì):氣體通過(guò)普通的浮子流量計(jì)粗略的估計(jì)進(jìn)氣量。如GSL-2F、GSL-3F
質(zhì)量流量計(jì):氣體通過(guò)D07質(zhì)量流量計(jì)精確控制進(jìn)氣量。如GSL-2Z、GSL-3Z、GSL-4Z等
用于液體高溫氣化后導(dǎo)入CVD系統(tǒng)的設(shè)備,有建議版和精確控制版本兩種可選
真空系統(tǒng)為CVD實(shí)驗(yàn)提供實(shí)驗(yàn)的真空環(huán)境,將管式爐中的空氣抽走,達(dá)到真空的環(huán)境??蛻舾鶕?jù)自己實(shí)驗(yàn)所需真空度大小及實(shí)驗(yàn)所需清潔程度來(lái)選擇合適的真空裝置。
本公司根據(jù)真空泵的不同分為2類:
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