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實(shí)驗(yàn)室小課堂-如何為CVD設(shè)備選型

發(fā)布時(shí)間:2020-07-17

前記:化學(xué)氣相沉積(CVD)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù),理論上即:兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導(dǎo)入到一個(gè)反應(yīng)室內(nèi),然后他們相互之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成一種新的材料,沉積到晶片表面上。所以普通CVD實(shí)驗(yàn)設(shè)備則由三套及以上的設(shè)備組合而成即:高溫爐(提供實(shí)驗(yàn)溫度)+供氣系統(tǒng)(提供多種氣體混合)+真空系統(tǒng)(提供實(shí)驗(yàn)環(huán)境)?;瘜W(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備的靈活度很高,客戶可根據(jù)自己實(shí)驗(yàn)要求選擇合適的產(chǎn)品來(lái)組合,或者直接選擇套裝(請(qǐng)點(diǎn)擊這里)。
建議:如果您是在分開(kāi)購(gòu)買CVD設(shè)備時(shí)最好跟科晶人員溝通是否需要一些必須的配件,以防分體購(gòu)買CVD中的設(shè)備造成配件不全不能立即實(shí)驗(yàn)的問(wèn)題。
一.高溫爐選擇(CVD系統(tǒng)中一般是管式爐):高溫爐為CVD實(shí)驗(yàn)提供材料沉積所需要的溫度

1、如何選擇管式爐?(請(qǐng)點(diǎn)擊此鏈接)

二、供氣系統(tǒng)選擇:
  • 供氣系統(tǒng)即混氣裝置,它可以實(shí)現(xiàn)2種或者2種以上的氣體或者蒸汽按照一定的比例來(lái)混合,然后通入高溫爐中

  • 本公司根據(jù)流量計(jì)的不同分為2類

1.氣體流量計(jì):
  • 浮子流量計(jì):氣體通過(guò)普通的浮子流量計(jì)粗略的估計(jì)進(jìn)氣量。如GSL-2F、GSL-3F

  • 質(zhì)量流量計(jì):氣體通過(guò)D07質(zhì)量流量計(jì)精確控制進(jìn)氣量。如GSL-2Z、GSL-3Z、GSL-4Z等

2、氣液混合流量計(jì):
  • 用于液體高溫氣化后導(dǎo)入CVD系統(tǒng)的設(shè)備,有建議版和精確控制版本兩種可選


三、真空系統(tǒng)選擇:
  • 真空系統(tǒng)為CVD實(shí)驗(yàn)提供實(shí)驗(yàn)的真空環(huán)境,將管式爐中的空氣抽走,達(dá)到真空的環(huán)境??蛻舾鶕?jù)自己實(shí)驗(yàn)所需真空度大小及實(shí)驗(yàn)所需清潔程度來(lái)選擇合適的真空裝置。

  • 本公司根據(jù)真空泵的不同分為2類:

(1)低真空系統(tǒng)GZK-101。采用4L/S的雙級(jí)真空泵,標(biāo)配電阻規(guī)真空計(jì)
(2)高真空系統(tǒng)GZK-103。采用進(jìn)口分子泵,自帶真空計(jì)。GZK-103G。采用國(guó)產(chǎn)分子泵,自帶真空計(jì)
(3)另,若經(jīng)費(fèi)有限,客戶也可以只購(gòu)買單獨(dú)的真空泵、真空計(jì)和真空泵連接配件來(lái)實(shí)現(xiàn)抽真空的步驟


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