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Idea-濺射儀鍍膜-機(jī)械泵回油檢測報(bào)告

發(fā)布時(shí)間:2020-05-19

實(shí)驗(yàn)名稱: 濺射儀鍍膜-機(jī)械泵回油檢測報(bào)告


實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/span>實(shí)驗(yàn)室分別以機(jī)械泵、機(jī)械泵加冷阱、愛德華分子泵對濺射腔體進(jìn)行抽真空并濺射金膜,并且每組做兩個(gè)樣品進(jìn)行對比,檢測三種情況下金膜質(zhì)量。(由客戶反饋科晶實(shí)驗(yàn)室濺射儀做掃描電鏡鍍金效果差,實(shí)驗(yàn)室分別準(zhǔn)備了兩組對比試驗(yàn)與客戶鍍金樣品進(jìn)行對比,并參考對比結(jié)果進(jìn)行了兩組探究試驗(yàn),詳細(xì)內(nèi)容及結(jié)論請參考以下:)


實(shí)驗(yàn)設(shè)備:磁控濺射儀VTC-16-SM、機(jī)械泵TRP-12、氬氣、金靶、冰塊及冷阱、愛德華分子泵。


實(shí)驗(yàn)者:市場部


實(shí)驗(yàn)員:劉叢輝


對比案例①:

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對比結(jié)論:客戶案例形貌清晰,溝壑明顯,能很清楚觀察到樣品腐蝕或拋光的表明形貌;科晶實(shí)驗(yàn)室案例中腐蝕與拋光形貌都比較模糊,難以分辨。



對比案例②:

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對比結(jié)論:客戶所做案例球形態(tài)清晰,顆粒與顆粒間分界清晰,實(shí)驗(yàn)室所做三組案例,雖然冷阱(第2組)及干泵(第3組)的效果略比油泵(第1組)效果改善,但是對比客戶的案例仍有很大差距,所以實(shí)驗(yàn)室做了以下對比:三種工況下鍍金金膜質(zhì)量(濺射儀使用機(jī)械泵TRP-12、濺射儀使用機(jī)械泵TRP-12加冷阱、濺射儀使用愛德華分子泵):




探究案例①:(科晶實(shí)驗(yàn)室案例)

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案例①總結(jié):三組6個(gè)樣品,從每個(gè)樣品上雜質(zhì)的總數(shù)量來看,效果:干泵(第3組)效果>油泵+冷阱(第2組)>油泵(第1組),其中第三組單位面積污點(diǎn)數(shù)量最少,膜的平整最好(三組情況金膜顏色不同,為不同濾鏡下觀察,表面形貌表征的金膜顏色與金膜質(zhì)量無關(guān))




探究案例②:(實(shí)驗(yàn)室案例)

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案例②總結(jié):從三組6個(gè)樣品中看出,干泵(第3組)效果>油泵+冷阱(第2組)>油泵(第1組),其中第三組單位面積污點(diǎn)數(shù)量最少,由此看出冷阱對鍍膜的效果改善比較的明顯,干泵鍍膜質(zhì)量最好。



實(shí)驗(yàn)總結(jié):結(jié)合案例①結(jié)論、案例②結(jié)論綜合判定,冷阱、干泵方案均可提升鍍膜質(zhì)量,且干泵提升膜質(zhì)量效果最為明顯。








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